三坐標精密測量機采用的是紅寶石測量開頭并通過氣浮軸承使測量頭精密接觸被測物體連續移動，同時，三坐標的3個軸XYZ有三個光柵尺連續記載紅寶石測量頭當前位置的坐標值，也就是所說的測量值工件的實際尺寸，輸出給電腦軟件進行處理，繪制出被測工件的三維圖形。

　　為什么要使用潔凈干燥的壓縮空氣：氣浮軸承以及光柵尺都需要高潔凈度的壓縮空氣進行驅動以及保護，干燥度不夠的壓縮空氣會大大影響氣浮軸承的移動精度以及光柵尺的測量精度。

　　壓縮空氣膜干燥器的優點：滲膜式干燥器的高可靠性使得高價值的測量機設備得到良好的保護，增加整個系統的壽命、提高系統的測量精度、減少后期維護。