真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。真空泵是一種旋轉式變容真空泵須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內有較大的抽速對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。從結構上真空泵大致可分為:往復式真空泵、回轉式真空泵,水環式真空泵和射流式真空泵等。
1、往復式真空泵。往復式真空泵適用于抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體。這種真空泵的抽氣速率較大,真空度較高。故在化工廠中廣泛應用。但其結構復雜,維修量大。
2、水環式真空泵。水環式真空泵是回轉真空泵的一種。
3、射流式真空泵。射流式真空泵是利用一種壓力較高的工作流體來輸送另一種流體。
循環水真空泵廣泛用于蒸發蒸餾、結晶、過濾、減壓、升華等作業,低溫冷卻循環水真空泵是真空泵和低溫冷卻泵的結合。即可以抽真空,又可以提供低溫冷卻循環水,是減壓蒸餾和減壓濃縮的良好輔助設備,特別適應配備旋轉蒸發器,不但減少了使用空間,而且降低了真空度,節省了水資源,被現代實驗室廣泛裝備。